應用領域:
適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用
產品特點:
■富瑞聯華依托于光電子產業科研工作人員,研發制造的一款通用性隔振光學平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求,且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案,改善振動環境,以發揮設備儀器的最佳效能。
■優異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統,具備優秀的固有頻率,對多個方向的振動尤其是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。
■自動調節水平功能:放置負載的位置發生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執行德國FESTO產品標準,標配優質超靜音壓縮機。
■臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點,上面板為1cr17優質高導磁不銹鋼,經精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果,面板具有M6螺孔陣列,易于固定光學元件。
■隔振支撐為優質鋼管焊接而成,整體堅固可靠。
■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。
技術指標:
■平面度:< 0.05mm/m2
■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有頻率;x方向:1.0Hz~1.5Hz y方向:1.0Hz~1.5Hz
■減振效率:x方向<5Hz時:88%~94% y方向<5Hz時:86%~92%
x方向<10Hz時:92%~98% y方向<10Hz時:90%~95%
■臺面內部支撐:純蜂窩杯內芯支撐結構,粘接工藝,無焊接應力;
■蜂窩杯狀芯板:內部蜂窩狀芯板采用的是不銹鋼 、鋁板,鍍鋅板等防 腐材料,內芯密度≥250kg/m³;
■振幅:< 1μm
■荷載能力:500kg/m2
■重復定位精度:±0.05mm